實時膜厚檢測儀

產品型號：LEM-CT-670-G50
更新時間：2024-03-19
產品介紹：概要
實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環，系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。
在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

產品介紹

概要

實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環，系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。

特征

兩種類型的激光器，可兼容大范圍的薄膜，包括SiN, SiO₂, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
生產線使用內置軟件。
終點檢測法的靈活應用。
*的加工特點。

留言框

產品：
您的單位：
您的姓名：
聯系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

上一篇：DIGILEM-CPM-Xe/Halogen實時膜厚檢測儀

下一篇：MICROPOLE系統殘余氣體分析儀

色片视频网站-色片在线-色日韩在线-色视频免费-四虎国产精品免费视-四虎国产精品视频免费看

聯系我們

實時膜厚檢測儀

概要

特征

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：